描述：真空熔煉爐由爐蓋、爐體、氣氛控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、IGBT 電源、控制系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、工作臺(tái)、電控系統(tǒng)等組成 ，爐體、氣氛控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等組成部分都安裝在設(shè)備臺(tái)架上，使整個(gè)設(shè)備成為一體,爐架下安裝有水平調(diào)節(jié)輪、不但可以自由的拖動(dòng)，并有調(diào)節(jié)水平的功能。
| 品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,鋼鐵/金屬,綜合 |
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一、設(shè)備特點(diǎn)
1、真空熔煉爐采用臥式爐體，側(cè)部開門結(jié)構(gòu)，進(jìn)出料方便，爐體結(jié)構(gòu)緊湊，占地空間較小。
2、可以50段程序控溫，控溫精確，可以控制升溫速率和恒溫時(shí)間。
3、可以方便的更換不同的線圈以滿足不同大小的晶體生長。
4、安裝有觀察孔，可以清晰的爐內(nèi)坩堝物料的情況。
5、安裝有紅外測溫儀，可以精確的測量加熱套的溫度。
6、配有分子泵，真空度可達(dá)8X10-4Pa
7、安裝有水冷機(jī)，水冷機(jī)具有欠壓和斷水報(bào)警，使用安全可靠。
8、采用IGBT電源，具有過溫、斷水保護(hù)并具有報(bào)警、輸出電流顯示等功能。
12、廣泛應(yīng)用于大專院校及科研單位等在真空或保護(hù)氣氛條件下晶體的生長。
二、結(jié)構(gòu)說明
真空熔煉爐由爐蓋、爐體、氣氛控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、IGBT 電源、控制系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、工作臺(tái)、電控系統(tǒng)等組成 ，爐體、氣氛控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等組成部分都安裝在設(shè)備臺(tái)架上，使整個(gè)設(shè)備成為一體,爐架下安裝有水平調(diào)節(jié)輪、不但可以自由的拖動(dòng)，并有調(diào)節(jié)水平的功能。
1、爐體：為全304不銹鋼結(jié)構(gòu)，氬弧焊焊接。爐殼采用雙層水冷結(jié)構(gòu)，保證爐殼溫度不超過40℃。爐蓋采用前開門結(jié)構(gòu)，爐蓋打開方式為手動(dòng)，并加有鎖緊裝置，爐蓋上設(shè)有觀察孔，方便觀察爐內(nèi)情況。爐體上安裝有進(jìn)出氣口、與水冷機(jī)連接的進(jìn)出水口和安裝有連接爐體內(nèi)澆注裝置的進(jìn)出水管。
2、爐架：由型鋼鋼板組焊成柜架結(jié)構(gòu)，爐體安置在爐架上。
3、溫控系統(tǒng)(選購測溫元件時(shí))：溫控系統(tǒng)是由測溫系統(tǒng)，溫控儀表組成，爐體上配有紅外測溫儀，把紅外測溫儀輸出的1-5V信號(hào)通過控溫儀表轉(zhuǎn)換為溫度信號(hào)，控溫儀表可以控制感應(yīng)爐的輸出功率，這樣形成一個(gè)閉合回路，可以對爐子的升溫進(jìn)行編程控制，可以進(jìn)行50段程序控溫，控溫精度準(zhǔn)確，升溫速率可調(diào)，并可以進(jìn)行恒溫，以方便控制澆鑄時(shí)的溫度控制。
三、詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
VSF真空感應(yīng)熔 煉爐 | 型號(hào) | VSF-1 | |||
最大熔煉重量（按鐵液計(jì)算） | 1Kg | ||||
設(shè)備優(yōu)點(diǎn) | 1、外觀精致，美觀大氣。 2、結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積不到2平方。 3、側(cè)開門，方便取放物料。 4、爐殼采用雙層水冷結(jié)構(gòu)，表面溫度不超過40℃。 5、爐蓋上設(shè)有觀察窗，方便觀察物料熔化情況。爐體上安裝有進(jìn)出氣口，進(jìn)出口，并預(yù)留多個(gè)KF接口，方便接其他裝置。 6、電極能旋轉(zhuǎn)，可澆鑄 7、配有二次加料裝置，可以實(shí)現(xiàn)在熔煉過程中加入其它元素 8、采用IGBT 專用電源、全數(shù)字電路，電氣系統(tǒng)設(shè)有過流、過壓返饋及保護(hù)電路，電控屏箱按西門子標(biāo)準(zhǔn)制作，控溫精度高，操作方便。 9、采用二級(jí)泵，即機(jī)械泵加分子泵真空度可達(dá)8×10-4Pa | ||||
最高加熱溫度 | 2100度 | ||||
高頻加熱電源 | 采用電源 | 高頻感應(yīng)電源 | |||
振蕩頻率 | 30-80KHZ | ||||
最大輸入功率 | 35KW | ||||
加熱電流 | 12-70A | ||||
冷卻水要求 | ≥0.2MPa ≥6L/分 | ||||
電源重量 | 35KG | ||||
負(fù)載持續(xù)率 | 100% | ||||
輸入電壓 | 三相380V 50或60HZ | ||||
加熱方式 | 感應(yīng)加熱 | ||||
腔體內(nèi)直徑 | 500mm | ||||
腔體真空度（分子泵機(jī)組） | < 8X10 -4Pa | ||||
腔體充氣壓力 | < 0.5MPa | ||||
升壓率 | <4Pa/小時(shí) | ||||
斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | ||||
過溫保護(hù) | 有 | ||||
過流保護(hù) | 有 | ||||
欠壓保護(hù)（水壓） | 有 | ||||
控溫模式 | 智能PID | ||||
控制精度 | +/- 1~ 5 ℃（600度以上） | ||||
溫度檢測方式 | B型熱電偶和紅外測溫儀相結(jié)合。溫度超過1800度，熱電偶退出，用紅外測溫儀測溫。 B型熱電偶的測量范圍：0-1800℃ 紅外測溫儀的測量范圍：900-2300℃ | ||||
紅外測溫儀 | 美國進(jìn)口紅外測溫儀，特點(diǎn)1、響應(yīng)時(shí)間快、高精度； 2、可24小時(shí)實(shí)時(shí)連續(xù)在線測溫、安全、耐用； 3、激光瞄準(zhǔn)、穩(wěn)定性好、尤其適合測量高溫小目標(biāo)； 4、10毫秒的響應(yīng)時(shí)間和±0.3%的重復(fù)性精度，保證滿足您進(jìn)行快速、精確測溫的要求。5、溫度范圍50-3200℃ | ||||
二次加料器 | 為了在真空熔煉過程中添加各種元素，因此在加料器里裝有特制的4格加料器料斗，加料器有蓋，能把加料器進(jìn)行真空密封。在熔煉抽真空之前，把元素預(yù)先放在加料器料斗中，在添加元素時(shí)借手輪轉(zhuǎn)動(dòng)加料器料斗，元素便從加料器口流出，流入到熔融金屬液面上，避免噴濺 | ||||
觀察窗尺寸 | Dia 90mm | ||||
坩堝 | 標(biāo)配石墨坩堝 | ||||
選購 | 銅模 石墨漏斗 鉬攪拌桿 鎢坩堝 方形銅模 氧化鎂坩堝 | ||||
電動(dòng)攪拌裝置（選配） | 該爐可以配攪拌裝置，可以勻速的對物料進(jìn)行攪拌，攪拌棒由一個(gè)調(diào)速電機(jī)帶動(dòng)、攪拌棒與爐體之間采用威爾遜或磁流體和波紋管密封，攪拌棒和電機(jī)在電動(dòng)動(dòng)絲桿的帶動(dòng)下可以上下自由滑動(dòng)，進(jìn)入坩堝和從坩堝里出來。 | ||||
真空機(jī)組 | 機(jī)組輸入電壓 | 380V /220V | |||
波紋管 | KF40X1000 | ||||
真空擋板閥 | KF40 | ||||
前級(jí)機(jī)械泵FX-32
| 功率 | 1.2KW | |||
電壓 | 380V | ||||
轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | ||||
進(jìn)氣口徑 | KF40 | ||||
前機(jī)泵抽氣速率（L/S） | 8 | ||||
極限壓強(qiáng) | 4X10 -2Pa | ||||
復(fù)合真空計(jì)
| 復(fù)合真空計(jì)型號(hào) | ZDF | |||
電源 | 220V 55W | ||||
控制精度 | ± 1% | ||||
真空計(jì)測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | ||||
二級(jí)泵 為分子泵 （方案一） | 分子泵 （可以把腔體真空度抽到6X10E-4Pa） | 分子泵型號(hào) | FJ620 | ||
輸入電壓 | 220V | ||||
分子泵進(jìn)氣口法蘭 | DN160 | ||||
分子泵抽氣速率L/S（對空氣） | 600 | ||||
分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) | 6×10-7 | ||||
冷卻方式 | 水冷 | ||||
冷卻水壓（MPa） | 0.1-0.2 | ||||
冷卻水溫度 | <25℃ | ||||
環(huán)境溫度 | 0~40℃ | ||||
建議啟動(dòng)壓強(qiáng) | <100Pa | ||||
二級(jí)泵為擴(kuò)散泵 （方案二） | 擴(kuò)散泵 可以把腔體真空度抽到5X10E-3Pa） | 電壓 | 220V | ||
功率 | 1000W | ||||
極限真空度（在無泄露時(shí)） | 10E-5Pa | ||||
進(jìn)氣接口 | DN150 | ||||
出氣接口 | DN40 | ||||
注入油量 | 0.3L | ||||
抽氣速率（N2） | 1000L/S | ||||
水冷機(jī)（選購）
| 型號(hào) | HZ-03A | |||
最大揚(yáng)程 | 38M | ||||
制冷量 | 7.224*103kcal/h | ||||
水箱容量 | 60L | ||||
輸入總功率 | 3.2KW | ||||
出入水口 | Rp1/2’’ | ||||
機(jī)器尺寸 | 520X1150X1145(長X寬X高) | ||||
注意事項(xiàng)
1、此款熔煉爐需在真空或氣壓小于0.02MPa（相對氣壓）的低壓條件下使用。
2、若用戶需要在氣氛條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，必須在進(jìn)氣氣瓶上安裝減壓閥，減壓閥的氣壓設(shè)置要小于0.02MPa，
進(jìn)氣流量<200SCCM（200ml/min)。
3、請您仔細(xì)閱讀說明書，了解真空熔煉和惰性氣體環(huán)境下熔煉的標(biāo)準(zhǔn)操作程序。在操作過程中請密切監(jiān)控并正確控制反應(yīng)容器內(nèi)部壓力，否則，操作失敗可能導(dǎo)致設(shè)備損壞或人身傷害。
4、對樣品加熱時(shí)，不建議關(guān)閉抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若氣閥關(guān)閉對樣品加熱，要時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥，以防不可預(yù)見的損失。
真空感應(yīng)熔煉爐：VSF-0.5-----------熔煉量0.5kg規(guī)格（2p機(jī)械泵）
VSF-1-----------熔煉量1kg規(guī)格（3p擴(kuò)散泵）
VSF-2-----------熔煉量2kg規(guī)格（3p擴(kuò)散泵）
VSF-3-----------熔煉量3kg規(guī)格（5p擴(kuò)散泵）
VSF-5-----------熔煉量5kg規(guī)格（8p擴(kuò)散泵）
VSF-10-----------熔煉量10kg規(guī)格（10p擴(kuò)散泵）
VSF-25-----------熔煉量25kg規(guī)格（15p擴(kuò)散泵）
